... 2024-04-21 15:20 .. 使抗蝕劑固化。
待固化完成後，再將掩膜剝離（圖2）。
圖2：轉印方式的比較（數據來源：《日經xTECH》根據佳能的資料繪製）奈米壓印可以依照上述方法直接轉印圖案，因此即便是複雜圖案的轉印，也可在一次曝光中完成。
如果依靠光刻的方式，只能在一次曝光中轉印縱向或橫向的形狀（注1）。
因此，如果有斜向圖案或者多種圖案交織在一起，就需要進行多次曝光。
隨著曝光次數的增加，其他工藝步驟（如蝕刻等）也會相應增加。
（注1）使用根據橫、縱方向優化曝光條件的曝光方式。
如果縱向和橫向圖案混合在一起，邊緣的曝光解析度會降低，邊緣的圖案會呈現鋸齒狀，因此需要分開曝光。
在複製掩膜上形成圖案奈米壓印使用的是刻有實際尺寸圖案的掩膜。
據佳能介紹，他們使用電子束繪製實際尺寸的母掩膜，然後使用奈米壓印裝置製作出複製掩膜（圖3）。
由於奈米壓印裝置會使掩膜間出現直接的按壓接觸，與光刻方式相比更容易導致掩膜出 .. UfqiNews ↓
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