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04-21 15:20...使抗蝕劑固化。待固化完成後,再將掩膜剝離(圖2)。圖2:轉印方式的比較(數據來源:《日經xTECH》根據佳能的資料繪製)奈米壓印可以依照上述方法直接轉印圖案,因此即便是複雜圖案的轉印,也可在一次曝光中完成。如果依靠光刻的方式,只能在一次曝光中轉印縱向或橫向的形狀(注1)。因此,如果有斜向圖案或者多種圖案交織在一起,就需... 0
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