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2023-10-04...中国有没有可能完全独立自主研发出最先进的光刻机-2
我们回到正题，制造一台光刻机有多难呢？
我先定个性，光刻机是目前为止，人类有能力制造的最精密和复杂的机器，没有之一。一台光刻机，有三大关键部分组成。第一部分是光源、第二部分是光学系统、第三部分是蚀刻工作台。每一部分的技术挑战都堪比登... 171 -
2023-10-04...[编按： 转载于 新浪微博/科学有故事汪诘, 2023-09-19. 网传清华大学弯道超车光刻机新方案，冷静！ ]
中国有没有可能完全独立自主研发出最先进的光刻机
(2023-09)最近这一周，有一个科技新闻传的很厉害，说清华大学弄出了一种新的产生极深紫外光源的原理，可... 139 -
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