... 2024-02-03 14:50 .. 自支撑氧化物薄膜的主流制备方法是基于水溶性牺牲层的薄膜生长、剥离和转移技术。
然而,国际上普遍使用的Sr-Al-O基水溶性牺牲层与目标氧化物薄膜之间会形成高密度界面缺陷,导致水辅助剥离和转移过程中自支撑氧化物薄膜产生高密度裂纹,显著影响结晶性和完整性。
因此,如何抑制缺陷形成,获得大面积、高结晶性、高性能的自支撑薄膜是关键科学问题。
研发团队深入探索了Sr-Al-O基水溶性薄膜的激光分子束外延生长窗口,利用精细的薄膜生长控制技术发现了一种新型水溶性牺牲层材料——Sr4Al2O7。
系统性实验表征和第一性原理材料模拟计算发现,双轴应变下的Sr4Al2O7薄膜具有四方结构对称性,与多数ABO3钙钛矿材料可以形成高质量共格外延生长,抑制了界面处缺陷的形成和水辅助剥离过程中裂纹的产生,显著提升了自支撑氧化物薄膜的结晶性和完整性。
研究团队发现从Sr4Al2O7上剥离的自支撑薄 .. UfqiNews ↓
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