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... 2024-04-16 04:10 .. 其信息披露可能涉嫌存在夸大、不准确且误导投资者等问题。
    此外，《经济参考报》记者注意到，上交所也要求晶亦精微说明公司具备的14nm及以下制程12英寸CMP设备技术能力，并与华海清科14nm及以下制程CMP设备技术进行比较。
    晶亦精微回复表示，14nm制程CMP设备除在平坦化非均匀性、洁净度控制和超薄膜厚控制等方面有更高要求外，其他指标均沿用28nm制程CMP设备指标要求，此外公司在相关指标方面与华海清科的技术水平相当。
    晶亦精微进一步称，公司与华海清科14nm制程CMP设备在平坦化非均匀性方面的技术水平相当，但公司相关技术尚未在14nm晶圆产线中进行产业化验证。
    而在洁净度控制方面，公司目前整体处于28nm制程水平，与华海清科14nm制程CMP设备在颗粒度控制方面的技术水平相当，但尚未在14nm晶圆产线中进行产业化验证。
    在超薄膜厚控制方面，公司与华海清科技术水平接近 .. UfqiNews ↓ 4

+设备 +制程 +英寸 +华海 +工艺

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