... 2023-05-01 21:00 .. 光刻机工作中这一步需要使用气体等化学品将硅片表面的多余部分“消蚀”掉,留下所需的电路图案。
这样说可能有些抽象,举个形象化的例子,这个过程就像是做一个蛋糕,先按照蛋糕模型将芯片的设计排版成一个整体,然后用印模在蛋糕面上打下图案,最后在烤箱里将蛋糕加工出来。
光刻机运转当然,过程当中缺少不了打磨和修缮。
别看光刻机的工作原理简单,但是世界上真正拥有光刻机技术的国家屈指可数。
国际光刻机的技术封锁日本、荷兰、美国都是其中的技术领头羊,其中日本的光刻机技术尤为发达,最具代表性的公司就是尼康和佳能。
光刻机结构如图尼康公司在光刻机技术上具有很高的技术实力和市场份额。
其代表性的光刻机型号是NSR-S622D,这款设备采用了ArF激光器和233nm波长的振荡器。
最小图形尺寸可达40nm,并且,该公司尚处于开发过程中的EUV光刻机技术,将进一步提高他们的竞争能力。
佳能公司在光刻机技 .. UfqiNews ↓
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