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03-19 10:00...要在两年内完成产线工艺验证。实际上，除去大规模量产前的稳定性验证和试投产，真正留给工艺验证的时间只有一年左右。离子注入机完成一轮验证就需要近3个月，而且其过程像开盲盒。只有把所有工序走完，对成品进行电性测量后，才知道离子注入质量如何。一旦验证结果不合格，就要调出整个注入过程中所有的参数，逐一检查比对，找到问题，然后修正... 0
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03-12 16:50...打造国内第一条12英寸智能传感器（MEMS）及特色工艺生产线，对增城乃至广州、广东集成电路产业发展具有重要意义。当天上午，记者在增芯项目现场看到，伴随着屏幕上光刻机从制造下线到运输送达的纪录片，在全场嘉宾的见证下，承载着光刻机的车辆缓缓启动，将设备运入厂房，完成了增芯项目的重要历史时刻。“可以说，光刻机一进场，距离正式... 0
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